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測量范圍(nm) 峰值波長(nm) 量 程 主要用途 輻照度 曝光(輻)量 350—1050 半 寬400—1000 999 mW/cm2 9999.9 MJ/m2 材料老化 320—400 365 9.99 mW/cm2 999.99 mJ/cm2 印刷、光刻 380—460 420 9.99 mW/cm2 999.99 mJ/cm2 印刷注:表中所列為常用波段和量程,用戶選購儀器時要首先確認工作波段以及量程。用戶也可選擇其它波段,例如峰值波長為313nm或340nm,但是要提前就主要技術指標與技術部溝通,雙方確認后再簽購銷合同。定制產品原則上不予退貨。
光輻射自動測控儀可廣泛應用于材料老化、紫外殺菌、光化學、大規(guī)模集成電路光刻等領域。
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